目录
技术论坛
相变材料Ge2Sb2Te5的性质及其面向新型数据存储的应用杨冲;韩伟华;陈俊东;张晓迪;郭仰岩;杨富华;341-348器件与技术
MAPbI3单晶光电探测器的制备及应用余龙;张智方;朱燕艳;曹海静;349-352+371材料与结构
Zn/Co金属有机框架的制备及其对正丁醇的气敏特性周迎杰;杨浩月;孙永娇;胡杰;353-358+385
电子束诱导沉积钴微米线及其铁磁性杨朴;杨泽燕;王子佳;李永杰;祝筠晗;相文峰;邢颖;359-365
二维WS2薄膜的制备及光电特性丁馨;徐铖;许珂;朱静怡;马锡英;366-371
镍基MOF电极材料物理超声改性及电化学性能尹洪伟;郭丽芳;张文磊;李廷鱼;李刚;372-378MEMS与传感器
高灵敏度Si基纤毛式MEMS湍流传感器申玮;张文君;王任鑫;379-385
柔性仿生磁性微结构的制备与驱动宗钊;谭秋林;386-390
一种基于MEMS工艺的365 GHz硅微波导垂直转接结构杨志;董春晖;柏航;姚仕森;程钰间;391-394+403加工、测量与设备
PDMS多层次蘑菇形微结构的制作单晗;刘军山;395-398+408
PVT法同质籽晶AlN晶体生长李宝珠;金雷;史月增;齐海涛;张丽;程红娟;洪颖;李强;399-403
基于微流控的人卵母细胞特性检测刘梦笑;薛如月;宋家友;杨亚军;李帅毅;杨潇楠;404-408
窄间隙介质阻挡放电清除硅片表面颗粒污染物何叶;袁慧;冷白羽;杨波;白敏菂;409-414+420
高纯SiC粉料中杂质浓度的控制和测试高卫;赵丽霞;李召永;王毅;吴会旺;415-420
《微纳电子技术》348