目录
器件与技术
SiO2掺杂介孔碳纳米球及其锂硫电池的特性郭彬斌;王政;王艳芳;257-263+281材料与结构
PMMA-CsPbBr3薄膜的结构及光电特性原玮敏;张倪;武晨晓;朱燕艳;264-269
萝藦壳衍生多孔碳电极及其在电容去离子中的应用姚雪娇;蔡亚果;郭梦月;鲍恺婧;孙卓;宋也男;朴贤卿;270-276+291
p型4H-SiC同质外延有效层厚度杨龙;赵丽霞;吴会旺;277-281
石墨烯/聚苯胺纳米复合材料的制备及防腐应用研究进展杨小刚;王传洁;李斌;282-291MEMS与传感器
移动X射线光刻制备等腰三角形结构的PMMA微通道王洁;王欢;吴文渊;李以贵;292-297+311
AuNP-rGO@NF电化学免疫传感器的制备及其HBsAg性能检测张琦;王文达;任梦婕;余志超;胡杰;298-303
基于红外光强的数字微流控系统定位罗智杰;黄邦锐;黄子涛;姚世鸿;王璐;龙浩岚;侯逸斌;范俊均;刘双印;304-311加工、测量与设备
基于SiO2掩膜层的硅基微半球谐振子模具加工工艺郑显泽;李严军;王月;唐彬;熊壮;312-319+332
高纯半绝缘SiC电阻率影响因素吴会旺;赵丽霞;刘英斌;李胜华;320-323+338
玻璃纤维增强SU-8胶技术王惟圣;周文文;丁桂甫;324-327
多层圆片级堆叠THz硅微波导结构的制作杨志;董春晖;柏航;姚仕森;程钰间;328-332
扫描隧道显微镜钨针尖的制备与表征王学慧;程协;曾红;333-338
北京微纳精密机械有限公司253
第一次征文通知第十五届固态和集成电路技术国际会议339
第十三届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知340