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《微纳电子技术》2020年06期

 
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相变材料Ge2Sb2Te5的性质及其面向新型数据存储的应用(续)杨冲;韩伟华;陈俊东;张晓迪;郭仰岩;杨富华;421-429器件与技术
基于非磁性材料Cr/Au的VCSEL欧姆接触特性宋金伟;张峰;郭艳玲;关宝璐;430-435+449材料与结构
BiVO4纳米结构的形貌和组成控制及其对光催化性能的影响(英文)印川;施天宇;赵晨媛;尹海宏;宋长青;秦琳;王志亮;邵海宝;436-449
TiO2/g-C3N4复合纳米光催化剂的制备及其光催化性能王文姗;赵清华;李廷鱼;张文磊;郭丽芳;李刚;450-455+475
(Ti0.5W0.5)5+离子掺杂对NdNbO4微波介质陶瓷性能影响张文娟;456-461MEMS与传感器
基于纳米森林的电容式湿度传感器陈贵东;石梦;毛海央;熊继军;陈大鹏;462-467
一种微纳跨尺度一体化的MEMS矢量水听器史一明;齐秉楠;宋金龙;王任鑫;张国军;468-475
硅微谐振式加速度计温度效应标定与补偿於陈程;张俊辉;李永亮;曾婷;苏岩;476-482+497加工、测量与设备
固态纳米孔上端粒序列的共价修饰与G-四联体折叠监测王森;梁丽媛;唐婧;蔡瑶;翁婷;尹雅洁;王亮;王德强;483-491
基于PECVD的TSV深孔绝缘层沉积工艺优化唐伟;王文杰;吴道伟;李宝霞;杜亚飞;赵鸿;492-497
晶圆级封装中硅基盖帽的湿法腐蚀工艺吴鹏;郭杰;袁俊;李志华;黎秉哲;孙丽存;498-502
SiC晶片双面和单面抛光相结合的化学机械抛光高飞;李晖;程红娟;503-508
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