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《微纳电子技术》2022年07期

 
目录
技术论坛
纤维素水凝胶在柔性电子皮肤设备中的研究进展陈晨;周天乐;陈双琴;谈华平;王锋;卓毅智;何健英;张志良;汪信;607-616+643
ZnI2溶液中I离子电化学反应过程王毅然;童新;熊大元;王连卫;徐少辉;617-624
微流控芯片生物相容性的研究进展李璐;冯鑫;范一强;625-635+709
材料与结构
氮掺杂分级孔炭的特性调控及对超级电容器电化学性能的影响程存喜;刘琴;杨凤娟;636-643
六方相反铁磁材料Mn3Ge的交换偏置效应李浩宇;高湉;644-648+695
MEMS与传感器
一种带有镂空图形的高性能微压电能量采集器张丽娟;王保志;董璇;张成功;赖丽燕;李以贵;649-656
大量程柔性电容式触觉传感器及其阵列卢海洋;姚涛;陈盛华;王志华;657-664
铌酸锂单晶悬臂梁MEMS振动传感器的性能魏慧芬;穆继亮;耿文平;丑修建;665-671+724
基于溶液法制备的PVDF及PVDF-TrFE柔性压电传感器阵列张博;张婕;672-680+717
加工、测量与设备
静电纺丝辅助制备高品质因子Cu纳米线网络柔性透明电极李丽娟;孙钦军;范雪婷;韩帅;吕红燕;高利岩;郝玉英;681-688
基于微流控与动态显微成像的全血细胞分类计数方法杜自强;陈冰;胡雨;王旭;许谢飞;杨潇楠;689-695
石墨烯对基于无铅焊料的低温Cu-Cu键合的影响周凯;尹翔;王炜;李柘霖;王旭;段竞峰;杨文华;696-701
固态纳米孔检测不同结构DNA分子陈山川;闫汉;唐鹏;周硕;田荣;尹雅洁;梁丽媛;王德强;翁婷;702-709
基于微流控技术的磁性微液滴制备方法李旺明;邱京江;张玉东;李静;徐献忠;卫荣汉;710-717
基于响应面法的CMP后清洗工艺优化实验张康;张菊;岳爽;高跃昕;李婷;718-724
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