目录
技术论坛
FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展赵正平;195-209
器件与技术
基于FET结构的MoS2器件的研究进展潘苏敏;黄玲琴;陶化文;210-217
电极材料对肖特基结β辐射伏特同位素电池性能的影响王晓彧;韩运成;张佳辰;冯加明;熊厚华;陈志远;李月生;李桃生;218-224
材料与结构
柔性石墨烯/碳纳米纤维素/聚偏氟乙烯电加热膜的制备与表征李安琪;辛斌杰;225-230
前驱体通气时间对原子层沉积氧化锌薄膜的影响马铭辰;王国政;王蓟;231-235+241
MEMS与传感器
基于PVDF/GO纳米复合薄膜的柔性压电传感器陈广州;陈刚;潘莉;白智健;陈东生;236-241
用于高集成度数字PCR平台的微流控芯片张道远;林树靖;王菲;王砚璞;陈迪;242-249
集成Ti/TiO2敏感电极和液接式Ag/AgCl参比电极的pH微纳传感器黄旭东;张井合;胡凯凯;蒋晨星;王振宇;郜晚蕾;金庆辉;250-256+263
基于摩擦纳米发电机的自驱动自清洁雨量传感器季喜军;熊枫;石树正;王占英;257-263
加工、测量与设备
聚焦电子束辐照诱导喷金SiOx纳米线新型结构加工潘鹏;季雪梅;苏江滨;朱贤方;何祖明;唐斌;郎咸忠;264-271+277
用于制备微纳米玻璃结构的加工工艺权雪玲;刘民;付学成;黄胜利;凌天宇;瞿敏妮;程秀兰;272-277
n型IBC太阳电池磷掺杂工艺屈小勇;高嘉庆;郭永刚;吴翔;张博;杨爱静;张天杰;278-283
微电子封装中全Cu3Sn焊点高温服役下的微观组织演变何溪;李晓延;张伟栋;张虎;朱阳阳;284-291
中国电子科技集团公司第十三研究所光电产品推介
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第十五届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知
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