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《微纳电子技术》2022年02期

 
目录
技术论坛
基于摩擦纳米发电机的波浪能采集系统的研究进展姚永杰;张鹏;王登旭;李玉霞;黄梁松;107-117+144
器件与技术
n型单晶硅片的电阻率和扩散方阻对IBC太阳电池电性能的影响刘洪东;宋标;高艳飞;董忠吉;屈小勇;高嘉庆;张兴发;杨凯舜;118-124
材料与结构
基于石墨毡生长的镍钴基化合物电极的双功能电催化性能庞宁;邢晓梅;童新;熊大元;徐少辉;王连卫;125-132
(CoFe)Se2@NC超级电容器电极材料的制备及其电化学性能李宽;肖倩;卞梓垚;李凯楠;赵匡健;曹海静;朱燕艳;方泽波;133-139
利用PDMS纳米结构薄膜增强玻璃基板出光李晨冉;王书杰;涂于飞;140-144
MEMS与传感器
基于拱形结构的摩擦-压电复合式能量采集器石树正;熊枫;季喜军;145-150+194
面向微集成的金刚石NV色心与微波天线的一体化袁华;马宗敏;郑斗斗;王雪敏;柴笑晗;151-155+168
Si MEMS陀螺仪的正交耦合补偿技术任臣;王宁;杨拥军;王晓;156-161
加工、测量与设备
CaMoO4/GO复合材料的制备及其超级电容器性能陈刚;陈广州;潘莉;陈东生;162-168
原子层沉积超薄氮化铝薄膜的椭圆偏振光谱法表征瞿敏妮;乌李瑛;董学谦;沈贇靓;田苗;王英;程秀兰;169-174
微悬臂梁传感系统在CNT微热量检测中的应用滕艳华;王启明;周宁鸿;冯贺;刘松;薛长国;175-179
PLD法制备ITO导电薄膜及其性能姚雪;谭秋林;180-186
交流电场作用下电场流动聚焦装置内微液滴的生成实验王燕令;任敏;张常青;刘鹤;陈华;吴学红;187-194
中国电子科技集团公司第十三研究所光电产品推介
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