目录
技术论坛
基于微结构提升柔性电容式压力传感器灵敏度的研究现状周帅;刘茜;1047-1053
MEMS倾角传感器研究现状及发展趋势高旗;陈青松;杨贵玉;杨挺;路文一;尹玉刚;1054-1063+1076
材料与结构
可见光响应TiO2改性g-C3N4异质结光催化材料的制备与性能刘威;张淑婷;卢秋莹;张家杰;1064-1070
用于促黄体生成素电化学传感器的MWCNT/MB/AuNP纳米复合材料樊艳;马军爽;1071-1076
多场耦合载荷下微焊点的疲劳寿命分析朱桂兵;杨智然;孙蕾;1077-1082
MEMS与传感器
用于人机交互的柔性三维力触觉传感器孟星佑;李寒阳;孙雨阳;刘会聪;王凤霞;孙立宁;1083-1087+1099
基于激光切割的二自由度悬臂梁式压电能量采集器董璇;王保志;张成功;王欢;李以贵;1088-1093+1099
基于惯性原理的微流控芯片粒子连续分选李晓红;张斌珍;段俊萍;1094-1099
加工、测量与设备
基于FIB/HPCVD的MgB2超导微桥制备张新月;李艳丽;孔祥东;韩立;1100-1107
微热对流式惯性传感器悬臂梁结构的优化与制备王佩英;邱霁玄;王欢;张成功;李以贵;1108-1113
氧空位Co3O4纳米线阵列的制备及其高效电催化合成氨曹茂启;吴大旺;向丁玎;罗小虎;代虹镜;龙成梅;1114-1120
基于穆勒椭偏的纳米薄膜厚度测量与溯源杜黎明;管钰晴;孔明;平少栋;谢张宁;雷李华;傅云霞;1121-1127
关于“第七届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会暨2021半导体功率器件技术创新与产业融合发展论坛”延期举办的通知
1107
中国电子科技集团公司第十三研究所光电产品推介
1128
《微纳电子技术》2021年第58卷总目次
1129-1132