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技术论坛
MEMS陀螺仪的研究现状与进展李永;赵正平;757-768
材料与结构
混合溶剂法调控镍基MOF纳米结构及其电化学性能葛威;张文磊;李廷鱼;郭丽芳;李刚;769-775+803
基于BaTiO3@PMMA核壳材料的薄膜电容器介电层周顺风;张婕;776-782
γ-Fe2O3@C复合材料的制备及其光催化性能温强;顼建乐;崔泽岳;李朋伟;783-788
MEMS与传感器
SiBCN高温薄膜温度传感器李雅莉;徐毅;孙道恒;陈沁楠;方亮;海振银;崔在甫;李鑫;何功汉;崔金婷;789-795+826
电离式三电极碳纳米管乙炔传感器郝西伟;申晨;景龑;潘晓彤;薛倩楠;程珍珍;张勇;796-803
基于摩擦纳米发电机的气体流量传感器韩阳;黄河;赵世昌;吴川;宋尧;钱俊国;李佩泽;804-811+850
侵彻姿态测量中MEMS陀螺仪结构仿真与冲击实验青泽;牟东;廉璞;刘军;周铭;812-817
基于介电润湿的数字微流控系统液滴精准生成与分裂罗智杰;许嘉志;潘仲宇;黄爱清;何积源;曹亮;刘双印;818-826
加工、测量与设备
钼酸锰@硫化镍纳米片阵列制备及其电化学性能张颖;张文磊;李廷鱼;郭丽芳;李刚;827-834
表面针状铜基微纳米阵列材料与锡基焊料固态焊接肖金;程伟;张彬;陈伟全;835-839
双面机械抛光对SiC衬底TTV及材料去除率的影响贾军朋;白欣娇;李晓波;崔素杭;李帅;840-844
基于新型抛光液研究工艺参数对片内非均匀性的影响栾晓东;徐克;张震;张若雨;845-850
第七届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会暨2021半导体功率器件技术创新与产业融合发展论坛
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